Concevoir une salle propre pour la microélectronique, c’est répondre à des exigences d’un niveau à part. Chaque choix technique a un impact direct sur la performance de vos équipements et la continuité de votre production.
Voici ce que ces projets exigent vraiment.
Plafond soufflant 100 % & filtres ULPA
En ISO 3 ou ISO 4, le flux laminaire vertical couvre l’intégralité du plafond. Les filtres ULPA (efficacité > 99,9995 % à 0,12 µm) définissent la classe. Ils offrent une filtration 10 fois plus fine qu’un HEPA standard, c’est ce niveau de maîtrise particulaire qui garantit l’intégrité de vos composants les plus sensibles. Leur implantation, remplacement et test in-situ font partie intégrante de la conception.
Le dégazage : une variable de conception à part entière
Pas de silicone, pas de matériaux émetteurs de COV. Chaque élément introduit en salle (joint, peinture, revêtement, gaine) est validé dégazage. Traiter cette contrainte dès la conception, c’est garantir la stabilité chimique de votre environnement de production sur le long terme, et préserver la performance de vos process les plus critiques.
Débits d'air neuf & post-refroidissement
Les extractions process sont considérables. L’air neuf compensatoire génère des charges thermiques importantes. Des batteries de post-refroidissement sur les retours de plénum stabilisent les conditions sans surcharger la CTA. C’est ce dimensionnement précis qui vous assure une température et une hygrométrie stables en permanence, condition essentielle à la précision de vos équipements de lithographie.
Anti-vibration & antisismique
Les équipements de lithographie ou métrologie tolèrent des niveaux vibratoires de l’ordre du nanomètre. Chaque traversée de paroi, chaque support de gaine est une source potentielle. Intégrer l’ingénierie vibratoire dès les fondations, c’est s’assurer que vos équipements performent au niveau pour lequel ils ont été conçus, dès la première mise en production.
Flexibilité d'usage
Une fab évolue vite. Les salles doivent anticiper des puissances installées variables, des exhausts reconfigurables, des zones modulables, sans reconstruire l’enveloppe. Penser la flexibilité dès la phase études, c’est offrir à votre outil de production la capacité d’évoluer avec vos besoins, sans immobilisation longue ni investissement majeur.
Le temps : une variable d'ingénierie comme une autre
Dans ce secteur, le planning est aussi critique que les choix techniques. Préfabrication en atelier, maîtrise des interfaces process, coordination serrée entre les corps d’état. Chez Valtria by Clauger, le délai de mise en production est piloté comme une contrainte d’ingénierie dès le premier jour, pour que votre date de démarrage soit tenue.
ISO 3, ISO 4, ULPA, dégazage, anti-vibration, flexibilité, délais maîtrisés : c’est un métier à part entière, que nous exerçons depuis plus de 30 ans.
Valtria by Clauger accompagne les projets microélectronique, Gigafactories et semi-conducteurs de la conception à la qualification, en Europe, en Amériques et au-delà.
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